PDF	PDFをダウンロード

審決分類	審判 全部申し立て   H01L
管理番号	1028346
異議申立番号	異議1999-74180
総通号数	16
発行国	日本国特許庁(JP)
公報種別	実用新案決定公報
発行日	2001-04-27
種別	異議の決定
異議申立日	1999-11-10
確定日	2000-09-04
異議申立件数	1
訂正明細書	有
事件の表示	登録第2594717号「ウェーハ保持装置」の実用新案登録に対する実用新案登録異議の申立てについて、次のとおり決定する。
結論	訂正を認める。 登録第2594717号の実用新案登録を維持する。
理由	一.[手続の経緯] 本件実用新案登録第2594717号(以下、「本件登録」という)は、平成4年7月3日付の実願平4-52786号出願に係り、平成11年3月5日に設定登録され、その後、表記登録異議申立人より登録異議の申立があったので、当審において当該申立の理由について検討の上、登録を取消す旨の理由を通知(第1回目)したところ、平成12年4月24日付で、実用新案登録異議意見書の提出と共に訂正請求がされたが、当該訂正請求に係る訂正明細書及び登録明細書の記載では、考案の詳細な説明と実用新案登録請求の範囲の記載との間の対応関係が明確ではなく、当審より、その旨を指摘した登録取消理由を通知(第2回目)し、これに対して実用新案権者は先の平成12年4月24日付の訂正請求を取下げると共に、あらためて、その通知書(第2回目)で指定した期間内の平成12年7月27日付で訂正請求をしたものである。 二.[訂正の適否] 1.訂正の要旨 上記平成12年7月27日付訂正請求における訂正の要旨は、次のイ、ロのとおりである。 イ 本件登録明細書の実用新案登録請求の範囲(請求項1)の「背柱を立設すると共に前記ウェーハの両側に側柱を立設し」とある記載を「背柱を、又前記ウエーハの両側に側柱をそれぞれ分離して立設し」に、 同じく「前記側柱をウェーハの中心より前記背柱の反対側に延出する長形断面形状」とある記載を「前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出すると共に少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状」に、 同じく「該棚板は柱実部より前記ウエーハの円周に沿ってウェーハの中心より前方に向って更に延出し、前記棚板の先端部がウエーハの中心より反背柱側に位置する」とある記載を「該棚板の前記直線部は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する」に、 それぞれ訂正する。 ロ 考案の詳細な説明中の、上記イの訂正事項に対応する箇所(【0009】、【0012】、【0013】、【0015】)の記載を、当該イの訂正の内容と整合するように訂正する。 2.訂正の目的 上記イの訂正は、実用新案登録請求の範囲の記載を限定して、考案の技術内容をより詳しく規定しようとするもので、明らかに、実用新案登録請求の範囲の減縮とみることができるし、上記ロの訂正は、上記イの訂正に伴って生じる明細書の記載の齟齬を、訂正により解消しようとするもので、明瞭でない記載の釈明とみることができる。 3.新規事項の有無 本件登録に係る、願書に添付した明細書(特に、【0013】)及び図面の記載からみて、上記の訂正の内容は、願書に添付した明細書または図面に記載されていない新規事項を含むものとはいえない。 4.拡張、変更の有無 上記各訂正の内容は、登録明細書に記載された事項の範囲内において、考案の構成を具体的に限定しようとするものであって、実用新案登録請求の範囲を実質的に拡張したり、変更したりするものとはいえない。 5.独立登録要件の適否 (1)＜訂正請求に係る考案＞ 訂正請求に係る請求項1の記載は次のとおりである。 【請求項1】「保持されるウェーハの背面側に背柱を、又前記ウェーハの両側に2本の側柱をそれぞれ分離して立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出すると共に少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状とし、前記側柱は柱実部及び該柱実部より延出し前記保持溝を形成する棚板から構成され、該棚板の前記直線部は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する様にしたことを特徴とするウェーハ保持装置。」(この訂正請求に係る請求項1に記載された事項によって特定される考案を、以下、「本件考案」という) (2)＜引用例の記載事項＞ これに対し、本件登録に係る出願前の出願であって、本件登録に係る出願より後に出願公開された、特願平3-288460号(特開平5-129214号、以下「先願」という)の、願書に最初に添付した明細書及び図面(以下、「引用例」という)には、「半導体集積回路装置の製造」に用いる「縦型熱処理装置」に関して、次の記載がある。 「【従来の技術】・・・従来、縦型炉のウエハボートの代表的な構造として、上下一対の円板を3?4本の溝棒で連結したものが公知となっている。・・・上記のようなウエハボートに搭載されたウエハは、その半円側のみが溝棒で支えられた、いわゆる片持ち状態となるため、溝棒で支えられていない残りの半円側には、ウエハの自重に起因する曲げモーメントが加わる。・・・この状態で1100℃以上の高温熱処理を行うと、上記曲げモーメントおよびウエハ自体の降伏応力の低下に起因してウエハに剪断応力が加わり、ウエハ内部に熱応力転位(結晶欠陥)が発生する。特に、8インチ以上の大口径ウエハでは、その自重によって曲げモーメントが容易に臨界応力値を超えてしまうため、熱応力転位による製品の信頼性および製造歩留りの低下が重大な問題となる。」(【0002】?【0006】) 「【課題を解決するための手段】・・・外径がウエハの直径よりも僅かに大きく、かつ内径がウエハの直径よりも僅かに小さい円筒部にウエハを出し入れするための溝を設け、ウエハの周辺部の大部分を円筒部の断面で支持するように構成した」(【0016】?【0017】) 「【実施例】・・・ウエハボート2は、円筒部14およびその上下端に接合された円板状の上板15、下板16からなる。・・・ 円筒部14には、ウエハ8を出し入れするための多数の溝17が等間隔に形成されている。各々の溝17は、ウエハ8を出し入れする半円側では、円筒部14を切断するように形成されているのに対し、もう一方の半円側では、円筒部14の内周側にのみ形成されている。 円筒部14の外径はウエハ8の直径よりも僅かに大きく、内径はウエハ8の直径よりも僅かに小さい。従って、ウエハ8は、その周辺部のみが円筒部14の断面に支持された状態でウエハボート2に搭載される。・・・ 円筒部14のウエハ8を出し入れする半円側には、その上下方向に沿って一定幅のフィンガ通過領域18が形成されている。ウエハ8を出し入れする時は、・・・フィンガ7の先端がこのフィンガ通過領域18を通じて円筒部14内に挿入されるので、図2に示すように、フィンガ通過領域18の幅(ｗ)は、フィンガ7の幅よりも僅かに広くしてある。 円筒部14のもう一方の半円側には、その上下方向に沿って一定幅のガス通過溝19が形成されている。このガス通過溝19は、前記熱処理管10のガス導入管12を通じて導入されたガスの流れを均一にするため、必要に応じて形成される。」(【0022】?【0032】) 「【発明の効果】・・・本発明の縦型熱処理装置によれば、1100℃以上の高温でウエハの熱処理を行う場合においても、曲げモーメントに起因する熱応力転位の発生を確実に抑制することができるので、半導体集積回路装置の信頼性および製造歩留りを向上させることができる。」(【0068】?【0069】) (3)＜本件考案と先願発明との対比＞ 引用例記載の「ウエハボート2」は、ウエーハの熱処理工程等でウエーハを支持するのであるから、「ウエーハ保持装置」といえるものであって、当該ウエハボート2の「円筒部14」には、「ガス通過溝19」を形成するために、本件考案における「背柱」と「2本の側柱」に相当するものが設けられており、また、引用例の図1、図2の記載からみて、これらの背柱や側柱に相当する部分には、本件考案における「ウエーハ保持溝」に相当する段部が形成されていて、しかも、引用例における「ウエハの周辺部の大部分を円筒部の断面で支持するように構成」という記載も参酌すれば、側柱相当部分は、「柱実部」と、この柱実部から、ウエーハの中心線を越えて更に前方に向かって延出する「棚板」部分とで構成されていることが明らかである。 したがって、本件考案と引用例記載の先願発明とは、次の点で一致する。 「保持されるウェーハの背面側に背柱を、又前記ウェーハの両側に2本の側柱をそれぞれ分離して立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出する長形断面形状とし、前記側柱は柱実部及び該柱実部より延出し前記保持溝を形成する棚板から構成され、該棚板は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する様にしたウェーハ保持装置。」 しかし、側柱の断面形状に関して、本件考案では、「少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状」であって、前記直線部は「ウェーハの中心に近づく様に前方に向かって延出」するとされるのに対し、先願発明では、「外径がウエハの直径よりも僅かに大きく、かつ内径がウエハの直径よりも僅かに小さい円筒」部分の断面形状であって、内周側に直線部が形成されるものではない点で相違している。 つまり、本件考案も先願発明も、ウエーハ熱処理工程に用いるウエーハの保持装置に関して、ウエーハの保持部分をウエーハ周辺に沿って長くして、ウエーハに発生する曲げの応力やモーメントを抑制しようとする点で共通するところがあるといえるが、当該応力やモーメントの抑制を、本件考案におけるように、保持部分をウエーハ中心に近づけて、ウエーハ保持部間のスパンを短くすることにより実現するという手法は、先願発明が開示するところではないし、また、このような手法が単なる周知技術や慣用手段であるともいえず、したがって、本件考案を先願発明と同一のものとすることはできない。 更に、訂正考案については、第2回目の取消理由で指摘した明細書の記載不備をはじめとして、本件登録に係る出願の際、独立して実用新案登録を受けることができないとする他の理由も発見しない。 6.訂正の適法性 上記1.?5.で検討したところによれば、本件登録異議に係る上記の訂正は、平成6年法律第116号附則第9条第2項によって準用される、特許法第120条の4第2項第1号及び第3号に掲げる事項を目的とするもので、平成11年法律第41号附則第2条第13項の規定により適用される、同法律第41号による改正前の特許法第120条の4第3項で更に準用され、平成6年法律第116号附則第6条第1項の規定により適用される、同法律第116号による改正前の特許法第126条第1項ただし書き、同条第2項及び第3項の規定に適合しているといえるので、上記訂正の請求は認容される。 三.[実用新案登録異議申立について] 1.登録異議申立人の主張 登録異議申立人は、甲第1号証として、特開平5-129214号公報を提出すると共に、本件登録に係る考案は、本件登録に係る出願前の出願であって、本件登録に係る出願より後に出願公開された、上記甲第1号証に係る特許出願(特願平3-288460号、上記二.5.(2)で、「先願」としたもの)の、願書に最初に添付した明細書または図面に記載された発明と同一であって、本件登録は、平成5年法律第26号による改正前の実用新案法第3条の2及び同第11条の規定に基づいて、拒絶査定をするべき出願に対してされたことになるから、本件登録を取り消すべきである旨主張している。 2.当審の判断 上記二.6.に述べたとおり、上記訂正請求が認容されることにより、上記平成12年7月27日付で提出された訂正明細書を本件登録明細書として、本件登録考案は、当該登録明細書の実用新案登録請求の範囲(請求項1)に記載されたとおりの、上記二.5.(1)で「本件考案」としたものと認める。 そして、本件登録考案を、甲第1号証に係る先願発明と同一のものとすることができないことは、上記二.5.(3)における、それぞれの考案及び発明の対比の検討結果から明らかである。 四.[むすび] 以上のとおりであるから、本件登録は、登録異議申立人の主張する理由およびその提出した証拠によっては、取り消すことはできないし、また、他に取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。
発明の名称	(54)【考案の名称】 ウェーハ保持装置 (57)【実用新案登録請求の範囲】 【請求項1】 保持されるウェーハの背面側に背柱を、又前記ウェーハの両側に2本の側柱をそれぞれ分離して立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出すると共に少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状とし、前記側柱は柱実部及び該柱実部より延出し前記保持溝を形成する棚板から構成され、該棚板の前記直線部は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する様にしたことを特徴とするウェーハ保持装置。 【考案の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】 本考案は、半導体製造工程でウェーハを水平姿勢で多段に保持するウェーハ保持装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】 縦型拡散炉、縦型CVD装置は、縦型反応炉を有し、該反応炉内に装入されたウェーハを表面処理するものであり、該縦型拡散炉、縦型CVD装置にウェーハを装入する際に、ウェーハを水平姿勢で多段に保持するのがウェーハ保持装置である。 【0003】 従来のウェーハ保持装置について、図3、図4により説明する。 【0004】 上フランジ板1と下フランジ板2との間に4本の支柱3,3、支柱4,4を設け、1組の支柱3,4に対して他方の支柱3,4を前記上フランジ板1と下フランジ板2の中心に対して略同一円周上に且対称に配設する。 【0005】 前記支柱3,3、支柱4,4は断面が円であり、それぞれの支柱の前記フランジの中心に面する側にウェーハ保持用の溝5,6を所要のピッチで刻設し、前記支柱の同一高さの4箇所の溝5,6にウェーハ7を挿入することでウェーハ7が水平に保持される様になっている。 【0006】 而して、ウェーハ7は前記溝の数だけ保持可能となっている。 【0007】 【考案が解決しようとする課題】 前記したウェーハ保持装置ではウェーハ7の略半円部を4箇所で支持しており、残りの半円部は片持梁状となっている。従って、ウェーハ処理中、ウェーハが高温の状態となると、曲げ応力による結晶問の辷を生じ、結晶欠陥となって製品品質を低下させ、或は歩留りの低下を招来する。 【0008】 本考案は斯かる実情に鑑み、ウェーハ保持状態に於ける曲げ応力の低減を図り、結晶欠陥の発生を防止しようとするものである。 【0009】 【課題を解決するための手段】 本考案は、保持されるウェーハの背面側に背柱を、又前記ウェーハの両側に2本の側柱をそれぞれ分離して立設し、前記背柱、前記側柱にそれぞれ所要数のウェーハ保持溝を刻設し、各保持溝にウェーハを保持可能としたウェーハ保持装置に於いて、前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出すると共に少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状とし、前記側柱は柱実部及び該柱実部より延出し前記保持溝を形成する棚板から構成され、該棚板の前記直線部は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する様にしたことを特徴とするものである。 【0010】 【作用】 保持されるウェーハは、円周に沿って略均等に支持されるので、ウェーハに曲げ応力が発生することが少なく、曲げ応力に起因する結晶欠陥の発生を防止することができる。 【0011】 【実施例】 以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明する。 【0012】 上フランジ8と下フランジ9との間に背柱10,10と2本の側柱11,11を掛渡して設け、更に1方の背柱10,側柱11と他方の背柱10,側柱11とは対称に配設する。 【0013】 前記背柱10は断面を略矩形状とし、フランジの中心に対して放射状に配置する。又、側柱11は断面が偏平であり、内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状をしており、凸面側が外周側になる様に配設されると共に装填されるウェーハ7に対して前記背柱10の反対側の縁がウェーハ7の外周より内側に入込む様に配設されている。 【0014】 背柱10、前記側柱11にはそれぞれウェーハ保持溝12、ウェーハ保持溝13を所要のピッチで刻設し、且各段のウェーハ保持溝12、ウェーハ保持溝13が同一平面となる様にし、該ウェーハ保持溝12、ウェーハ保持溝13にウェーハ7を挿入可能にしている。而して、ウェーハ7は後方の2箇所を背柱10のウェーハ保持溝12により保持され、ウェーハ7の両側を前記側柱11のウェーハ 保持溝13によって保持される。 【0015】 次に、ウェーハ7の保持の状態を説明すると、前記側柱11は柱実部13bと、該柱実部13bより片持状に延出する棚板13aとで構成され、前記ウェーハ保持溝13は棚板13a間に形成される。該棚板13aは前記2本の背柱10,10を結ぶ直線と平行なウェーハ7の中心線より該ウェーハ7の円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方(前記背柱10の反対側)に延出しており、ウェーハ7の周辺をウェーハ保持溝12、ウェーハ保持溝13によって略均等に保持する。従って、前記棚板13aの先端部は前記ウェーハの中心線より前方に位置することとなるので、前記ウェーハ7の前記棚板13aの先端より更に前方に片持梁状に延出する部分が短くなり、ウェーハ7に発生する曲げ応力が大幅に低減し、この曲げ応力による結晶間の辷りが防止される。更に、結晶欠陥の発生が抑止され、製品品質の安定、或は歩留りを向上させることができる。 【0016】 尚、前記側柱11の断面形状は偏平な蒲鉾状に限らず、短冊状であってもよい。又、背柱10は1本又は3本以上でもよい。 【0017】 【考案の効果】 以上述べた如く本考案によれば、ウェーハの周囲を略均等に保持するので、曲げ応力の発生が少なく、曲げ応力による結晶間の辷りが防止され、結晶欠陥の発生を抑止し、製品品質の向上更に歩留りの向上を図ることができる。 【図面の簡単な説明】 【図1】 本考案の一実施例の立断面図である。 【図2】 同前一実施例の平断面図である。 【図3】 従来例の平断面図である。 【図4】 従来例の立断面図である。 【符号の説明】 7 ウェーハ 10 背柱 11 側柱 12 ウェーハ保持溝 13 ウェーハ保持溝
訂正の要旨	訂正請求における訂正の要旨は、次のイ、ロのとおりである。 イ 実用新案登録請求の範囲の減縮を目的として、本件登録明細書の実用新案登録請求の範囲(請求項1)の「背柱を立設すると共に前記ウェーハの両側に側柱を立設し」とある記載を「背柱を、又前記ウエーハの両側に側柱をそれぞれ分離して立設し」に、 同じく「前記側柱をウェーハの中心より前記背柱の反対側に延出する長形断面形状」とある記載を「前記各側柱を、前記2本の側柱を結ぶ線と平行なウェーハの中心線より前記背柱の反対側に延出すると共に少なくとも内周側の一辺が直線部で形成される蒲鉾状の長形断面形状」に、 同じく「該棚板は柱実部より前記ウエーハの円周に沿ってウェーハの中心より前方に向って更に延出し、前記棚板の先端部がウエーハの中心より反背柱側に位置する」とある記載を「該棚板の前記直線部は柱実部より前記ウェーハの円周に沿って且つウェーハの中心に近づく様に前方に向って延出し、前記棚板の先端部が前記ウェーハの中心線より反背柱側に位置する」に、 それぞれ訂正する。 ロ 考案の詳細な説明中の、上記イの訂正事項に対応する箇所(【0009】、【0012】、【0013】、【0015】)の記載を、当該イの訂正の内容と整合するように訂正する。
異議決定日	2000-08-14
出願番号	実願平4-52786
審決分類	U 1 651・ 161- YA (H01L)
最終処分	維持
前審関与審査官	中西 一友、松本 邦夫
特許庁審判長	神崎 潔
特許庁審判官	清水 英雄 大島 祥吾
登録日	1999-03-05
登録番号	実用新案登録第2594717号(U2594717)
権利者	国際電気株式会社 東京都中野区東中野三丁目14番20号
考案の名称	ウェーハ保持装置
代理人	三好 祥二
代理人	三好 祥二